초청정 반도체 제조를 위한 고순도 여과

간략한 설명:

상표:헹코

필터 이름:고순도 대용량 및 다용도 필터

재료:SS 316L

유량:10~120 SLPM

최대 작동 온도:400-500°C

입자 제거 크기:> 0.003 μm

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제품 상세 정보

제품 태그

설명

고유량 가스 필터 – 반도체 제조 공정에서 초고순도 가스 여과를 위해 특별히 설계되었습니다. 316L 스테인리스강으로 정밀하게 제작되었으며, 다중 컬럼 또는 적층 디스크 미디어 설계를 통해 높은 유량에서도 낮은 저항을 보장하고, 0.003μm의 여과 정밀도로 초고순도 요구 사항을 충족합니다. 견고한 금속 구조로 고온의 역동적인 환경에 이상적인 여과 솔루션입니다.

제품 특징

▶전체 구조는 316L 스테인리스강으로 제작되었습니다.— 내구성과 부식 방지 기능을 보장합니다.
▶높은 유량, 낮은 저항— 높은 유량과 최소한의 압력 손실에 최적화되어 있습니다.
▶초고효율 입자 포집 성능— 초순수 상태를 유지하는 데 탁월합니다.
▶고온, 고압 및 부식에 강함— 열악한 환경에 적합합니다.
▶다양한 공정 가스와 호환 가능— 다양한 산업 분야에 활용 가능합니다.
▶클린룸 제조, 테스트 및 포장에 이상적입니다.— 통제된 환경에서 사용하기에 적합합니다.
▶100% 무결성 테스트— 각 필터는 품질 보증을 위해 종합적인 무결성 테스트를 거칩니다.
▶100% 헬륨 누출 테스트— 중요 용도에서의 신뢰성을 보장하기 위해 헬륨 누출 테스트를 통해 검증되었습니다.

고순도 대용량 및 유틸리티 필터 OEM 판매

데이터시트

기술적 매개변수

매개변수	사양
필터 요소 재질	316L 스테인리스강 분말 소결
주택 자재	316L 스테인리스강
최대 입구 압력	207바
최대 작동 차압	5.2 바
헬륨 검증 누출률	2 x 10⁻¹⁰ cc/min
헬륨 테스트 누출률	1 x 10⁻¹⁰ cc/min
표면 처리
외부 표면	Ra < 1.6 μm
내부 표면	Ra < 0.2 μm
최대 작동 온도
불활성 기체	400-500℃
부식성 및 반응성 가스	50℃
입자 보유 효율	≥99.9999999%(9LRV) @ 30slpm
하류 청결도	0.01μm 초과 입자 ≤0.03개/리터, 30 slpm
입자 잔류 크기	≥0.003 μm

크기

고순도 대용량 및 유틸리티 필터 OEM 사이즈

주문 가능한 부품 번호와 사이즈 정보는 다음과 같습니다.

제품 모델	필터 요소 재질	여과 정확도(μm)	연결 유형
Z01B-00647	316L 스테인리스 스틸	10~0.003	1/4인치
Z01B-00648	316L 스테인리스 스틸	10~0.003	1/2인치
Z01B-00649	316L 스테인리스 스틸	10~0.003	1/8인치
Z01B-00650	316L 스테인리스 스틸	10~0.003	1인치
맞춤 설정 가능	316L 스테인리스 스틸	10~0.003	필요에 따라