초고순도 반도체 가스 시스템용 고급 IGS 표면 실장형 C-씰 필터

간략한 설명:

상표:헹코

필터 이름:IGS 표면 실장형 C-씰 필터

재료:SS 316L

유량:10~120 SLPM

최대 작동 온도:460°C

입자 제거 크기:> 0.003 μm

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제품 상세 정보

제품 태그

설명

HENGKO 표면 실장 필터는 반도체 OEM 장비에 사용되는 통합 가스 시스템의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 0.003µm의 업계 최고 수준의 여과 성능을 제공하는 이 필터는 120 slpm에서 99.9999999% 이상의 입자 차단 효율(9-LRV)을 보장하여 탁월한 성능과 신뢰성을 제공합니다.

필터 엘리먼트와 하우징은 견고한 316L 스테인리스강 분말 소결 방식으로 제작되었으며, SEMI F86-0304 규격을 준수합니다. 1.125인치 가스 분배 시스템에 최적화된 C-씰 구성의 2포트 부품을 갖추고 있으며, 100°C에서 최대 3.4MPa의 입구 압력과 0.69MPa의 최대 작동 압력 차이를 지원합니다.

C형 및 W형 씰 규격 모두와 호환되는 이 특수 필터는 입자 방출과 함께 하류 공정의 청정도를 달성합니다.

Ra의 표면 마감외부는 < 1.6 µm, Ra는내부 크기가 0.13µm 미만인 이 필터는 최대 460°C의 고온을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 손쉬운 통합과 모듈식 설계 업그레이드를 위해 설계된 이 필터는 설치 및 유지 관리를 간소화하여 반도체 가스 공급 및 제어 애플리케이션에서 시스템 성능을 최적화하는 데 도움을 줍니다.

제품 특징

▶ 전체 316L 스테인리스 스틸 구조
▶ 소형화된 디자인, 콤팩트한 구조, 공간 절약
▶ 탁월한 가스 치환 및 탈착 특성
▶ 고온, 고압 및 부식에 강함
▶ 전해 연마 처리된 316L 스테인리스 스틸 하우징
▶ 쉽고 효율적인 설치 및 유지보수
▶ 기계적 밀봉, 매체에 구조적으로 용접되지 않음

반도체 가스 공급 시스템용 고성능 IGS 표면 실장형 C형 씰 필터

데이터시트

기술적 매개변수	값
필터 요소 재질	316L 스테인리스강 소결 분말
주택 자재	316L 스테인리스 스틸
최대 입구 압력	3.4 MPa @ 100°C
최대 작동 차동	0.69 MPa @ 100°C
헬륨 검증 누출률	1x10⁻¹¹ cc/min
헬륨 테스트 누출률	1x10⁻⁹ cc/min
표면 처리	외부 표면 Ra< 1.6 μm
	내부 표면 Ra< 0.13 μm
최대 작동 온도	460°C
입자 차단 효율	≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (기준 MPPS, 모든 입자)
하류 청결도	입자 방출:< 0.03 입자/리터 (< 1 입자/ft³)
	휘발성 물질:< 10 ppb 수분
입자 차단 크기	≥0.003 μm
유량 범위	0~120 slpm