HENGKO® 고순도 반도체 가스 필터
고순도 시리즈 필터는 반도체 가스 여과용으로 설계되었습니다. 완전 용접 구조로 제작된 이 필터는 0.003 마이크론 크기의 입자를 걸러내는 기능을 제공합니다.
반도체 가스 필터는 스테인리스 스틸 소결 필터 카트리지 및 지지 구조를 포함한 전체 내부 구조가 스테인리스 스틸로 제작되었으며, 중요한 반도체 공정 가스 응용 분야에 적합한 316L 스테인리스 스틸 전해 연마 용접 하우징을 갖추고 있습니다.
초기 청결도를 확보하기 위해 최종 조립품을 여과된 니켈로 퍼지하십시오.
적용 산업 분야:
반도체 현장 특수 가스 여과
불활성 가스 및 특수 가스 이송.
기술 사양은 다음과 같습니다.
3nm 필터 등급
당사의 다공성 소결 스테인리스강 필터는 0.003μm 크기의 입자를 효과적으로 포집합니다.
최대 작동 온도: 121°C (250°F)
최대 작동 압력: 20°C(68°F)에서 207 bar(3000 psig).
특징 및 장점:
다공성 스테인리스강 소결 필터 매체 / 다공성 스테인리스강 소결 지지 구조
316L 소결 스테인리스강 필터는 탁월한 유동 저항성과 내화학성을 제공합니다.
전해연마 처리된 316L 하우징
이 필터 어셈블리는 부식 및 입자 생성을 방지하기 위해 10Ra 경도의 전해 연마 처리된 316L 스테인리스강 하우징을 사용합니다.
클린룸 생산
당사의 반도체 가스용 스테인리스강 소결 필터는 클린룸에서 제조되어 입자가 없고 화학적으로 깨끗하며 유기물이 없는 취급 및 포장을 보장하므로 포장 직후에도 높은 수준의 청결도를 유지합니다. 추가적인 전처리 과정은 선택 사항입니다.






자주 묻는 질문
1. 고순도 반도체 가스 필터란 무엇입니까?
고순도 반도체 가스 필터는 전자 부품 제조에 사용되는 가스에서 불순물을 제거하도록 설계된 특수 필터입니다. 이 필터는 고온과 부식성 화학 물질에 견딜 수 있는 재질로 만들어지며, 나노 크기까지의 입자를 제거하도록 설계되었습니다.
2. 고순도 반도체 가스 필터가 중요한 이유는 무엇입니까?
반도체 생산 과정에서는 미량의 불순물이라도 결함을 유발하고 최종 제품의 품질을 저하시킬 수 있습니다. 고순도 반도체 가스 필터는 제조 공정에 사용되는 가스가 오염 물질 없이 깨끗하게 유지되도록 도와줌으로써 더욱 고품질의 전자 부품을 생산할 수 있게 해줍니다.
3. 고순도 반도체 가스 필터로 어떤 종류의 가스를 여과할 수 있습니까?
고순도 반도체 가스 필터는 수소, 질소, 산소 및 다양한 공정 가스를 포함한 광범위한 가스를 여과하는 데 사용할 수 있습니다. 특정 제조 공정에 따라 원하는 순도 수준을 달성하기 위해 다양한 유형의 필터가 필요할 수 있습니다.
4. 고순도 반도체 가스 필터는 어떻게 만들어지나요?
고순도 반도체 가스 필터는 스테인리스강 및 기타 고강도 금속과 같은 재료로 만들어집니다. 필터 소자는 일반적으로 매우 작으며, 기공 크기는 0.1~1 마이크론입니다. 필터는 종종 표면 특성을 향상시키고 여과 성능을 개선하기 위해 특수 재료로 코팅됩니다.
5. 고순도 반도체 가스 필터는 얼마나 오래 사용할 수 있나요?
고순도 반도체 가스 필터의 수명은 필터 종류, 여과 대상 가스, 제조 공정 등 여러 요인에 따라 달라질 수 있습니다. 일반적으로 이러한 필터는 장기간 사용을 위해 설계되었으며, 교체하기 전까지 수개월에서 수년까지 사용할 수 있습니다. 정기적인 유지보수 및 청소는 필터의 수명을 연장하고 최적의 성능을 유지하는 데 도움이 됩니다.












