HENGKO® 고순도 반도체 가스 필터
고순도 시리즈 필터는 반도체 가스를 필터링하도록 설계되었습니다.완전히 용접된 이 어셈블리는 0.003미크론 입자 지원 유지 기능을 제공합니다.
반도체 가스 필터는 중요한 반도체 공정 가스 응용 분야를 위한 스테인리스강 소결 필터 카트리지 및 지지 구조, 316L 스테인리스강 전해연마 용접 하우징을 포함하여 내부 전체가 스테인리스강 구조로 되어 있습니다.
초기 청결을 달성하기 위해 필터링된 니켈로 최종 어셈블리를 퍼지합니다.
응용 산업:
사용현장 반도체 특수가스 여과
불활성 및 특수 가스 전달.
기술 사양은 다음과 같습니다.
3nm 필터 등급
당사의 다공성 소결 스테인리스 스틸 필터는 0.003μm의 효과적인 입자 보유 효율을 제공합니다.
최대 작동 온도: 121°C(250°F)
최대 작동 압력: 20°C(68°F)에서 207bar(3000psig).
특징 및 이점:
다공성 스테인레스강 소결 여과재 / 다공성 스테인레스강 소결 지지구조물
316L 소결 스테인리스강 필터는 탁월한 흐름 저항성과 내화학성을 제공합니다.
전해연마 316L 하우징
이 필터 어셈블리에는 부식과 입자 형성을 방지하기 위해 10Ra 전해연마 316L 스테인리스강 하우징이 있습니다.
클린룸 생산
당사의 반도체 가스용 스테인리스강 소결 필터는 클린룸에서 제조되어 입자가 없고, 화학적으로 깨끗하며, 비유기물 취급 및 포장을 보장하여 높은 수준의 가방 외부 청결도를 제공합니다.추가 전처리는 선택사항입니다.
자주하는 질문
1. 고순도 반도체 가스필터란?
고순도 반도체 가스 필터는 전자 부품 제조에 사용되는 가스에서 불순물을 제거하도록 설계된 특수한 유형의 필터입니다.이 필터는 고온과 부식성 화학 물질을 견딜 수 있는 재료로 만들어졌으며 입자를 나노 수준까지 제거하도록 설계되었습니다.
2. 고순도 반도체 가스필터가 왜 중요한가요?
반도체 생산 과정에서는 소량의 불순물이라도 불량을 유발하고 최종 제품의 전반적인 품질을 저하시킬 수 있습니다.고순도 반도체 가스 필터는 제조 공정에 사용되는 가스에 오염 물질이 없도록 보장하여 전자 부품의 품질을 향상시킵니다.
3. 고순도 반도체 가스 필터로 어떤 종류의 가스를 필터링할 수 있나요?
고순도 반도체 가스 필터는 수소, 질소, 산소 및 기타 다양한 공정 가스를 포함한 광범위한 가스를 필터링하는 데 사용할 수 있습니다.특정 제조 공정에 따라 원하는 수준의 순도를 달성하려면 다양한 유형의 필터가 필요할 수 있습니다.
4. 고순도 반도체 가스필터는 어떻게 만들어지나요?
고순도 반도체 가스 필터는 스테인레스 스틸 및 기타 고강도 금속과 같은 재료로 만들어집니다.필터 요소는 일반적으로 매우 작으며 기공 크기는 0.1~1 마이크론입니다.필터는 표면 특성을 강화하고 여과 성능을 향상시키기 위해 특수 소재로 코팅되는 경우가 많습니다.
5. 고순도 반도체 가스필터의 수명은 얼마나 되나요?
고순도 반도체 가스 필터의 수명은 필터 유형, 필터링되는 가스, 특정 제조 공정 등 다양한 요인에 따라 달라질 수 있습니다.일반적으로 이러한 필터는 장기간 사용하도록 설계되었으며 교체가 필요할 때까지 몇 달 또는 몇 년 동안 지속될 수 있습니다.정기적인 유지 관리 및 청소는 이러한 필터의 수명을 연장하고 시간이 지남에 따라 최적의 성능을 보장하는 데 도움이 됩니다.
