HENGKO 고순도 다공성 금속 챔버 디퓨저 스톤 반도체에 대한 고순도 가스 여과용
HENGKO 다공성 금속 디퓨저는 진공 챔버를 대기로 신속하게 배출하여 사이클 시간을 줄이고 처리량을 높입니다.당사의 스테인레스 스틸 디퓨저는 챔버 내 입자를 방해하지 않고 균일한 층류 가스 흐름을 제공합니다.이러한 다공성 금속 확산기는 유입되는 가스에서 0.1μm보다 큰 입자를 제거하여 웨이퍼의 결함을 최소화합니다.
스테인레스 스틸 디퓨저는 더 높은 작동 압력을 견딜 수 있으며 업계에서 가장 긴 수명인 제품 무결성을 유지할 수 있습니다.그리고 니켈보다 우수한 내식성을 위해서는 HENGKO 고순도 디퓨저를 사용하십시오.
응용
HENGKO 다공성 금속 디퓨저는 로드록 챔버, 이송 챔버, 냉각 챔버 및 반도체 장비 인터페이스(CVD, PVD, Etch, Epi) 또는 기타 진공 챔버의 프로세스 챔버의 벤트 응용 분야에 사용됩니다.
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