반도체 산업용 미세 다공성 소결 금속 필터가 있는 1/2″ VCR 개스킷

반도체 응용 분야를 위한 다공성 금속 개스킷 필터
정밀 가스 시스템을 보호하기 위한 안정적인 솔루션:
1.) 특별히 설계되었습니다반도체 가스 분배 시스템이 모든 금속 필터는 다음을 제공합니다.원활한 호환성
1/4", 3/8", 1/2" VCR 표준 개스킷 인터페이스가 있습니다.
2.) 그개스킷 스타일 디자인보장한다쉬운 설치, 이를 필수적인 보호 장벽으로 만듭니다.
MFC(질량 유량 제어기) 모듈, 정밀 밸브, 그리고압력 조절기.
3.) 견딜 수 있는최대 400°C의 온도, 그다공성 금속 개스킷 필터입자 침투를 효과적으로 차단합니다.
민감한 가스 구성 요소를 보호합니다.
4.) 오염으로 인한 누출을 방지함으로써장비 수명을 연장합니다그리고유지 보수 비용을 절감합니다.
5.) 두 가지 모두 사용 가능저압 및 고압 모델, 이 필터는 다음과 같습니다.기존 배관 시스템에 개조됨,
제공비용 효율적인 솔루션정밀 장비를 오염으로부터 보호하기 위해.

사양
| 기술적 매개변수 | 세부 |
|---|---|
| 필터 소재 | 소결 316L 스테인리스 스틸 분말 |
| 하우징/개스킷 소재 | 316L 스테인리스 스틸 |
| 표면 마감(외부) | 라 ≤ 1.6μm |
| 표면 마감(내부) | 연마 + 전해연마, Ra ≤ 0.2μm |
| 최대 작동 온도 | 400°C |
| 입자 보유 효율 | ≥99.9999999% (9 LRV) @ 100 slpm (MPPS 기준, 모든 입자에 대해) |
| 입자 크기 캡처 | ≥0.3μm |
| 호환 가능한 크기 | 1/4'', 3/8'' 및 1/2'' VCR 표준 개스킷 인터페이스 |
| 애플리케이션 | 반도체 가스 분배 시스템, MFC 모듈, 정밀 밸브 및 압력 조절기 |
| 사용 가능한 모델 | 저압 및 고압 버전 |
제품 특징
| 제품 특징 | 세부 |
|---|---|
| 재료 | 전체가 316L 스테인리스 스틸로 제작되었습니다. |
| 설치 | 설치 시 파이프 절단이나 용접 등 추가 작업이 필요 없어 표면 밀봉 필터로 사용 가능 |
| 내구성 | 고온, 고압, 부식에 강함 |

저압 시리즈
저압 시스템 파이프라인에 적합
*최대 작동 압력 0.98Mpa
*유량 범위: 0~100slpm

| 제품 모델 | 필터 정확도 | 개스킷 크기 | A | B | C |
| Z01B-00690 | 0.3마이크로미터 | 1/4인치 VCR | Φ11.90mm | Φ5.50mm | 0.70mm |
| Z01B-00640 | 1/2인치 VCR | Φ19.80mm | Φ11.20mm | 0.70mm | |
| Z01B-00691 | 3/4인치 VCR | Φ28.00mm | Φ16.80mm | 0.70mm | |
| Z01B-00693 | 1.0마이크로미터 | 1/4인치 VCR | Φ11.90mm | Φ5.50mm | 0.70mm |
| Z01B-00694 | 1.0마이크로미터 | 1/2인치 VCR | Φ19.80mm | Φ11.20mm | 0.70mm |
| Z01B-00692 | 1.0마이크로미터 | 3/4인치 VCR | Φ28.00mm | Φ16.80mm | 0.70mm |
| Z01B-00725 | 5마이크로미터 | 1/4인치 VCR | Φ11.90mm | Φ5.70mm | 0.70mm |
| Z01B-00726 | 10마이크로미터 | 1/4인치 VCR | Φ11.90mm | Φ5.70mm | 0.70mm |
여과 정확도(0.01~60µm)와 크기는 사용자 정의가 가능합니다!
애플리케이션
다공성 스테인리스 스틸 VCR 개스킷 필터의 응용 분야
1. 반도체 제조:
*가스 분배 시스템에서 입자를 걸러내고 질량 유량 제어기(MFC), 밸브, 레귤레이터와 같은 민감한 구성 요소를 보호하는 데 사용됩니다.
*화학 기상 증착(CVD) 및 에칭과 같은 공정에서 깨끗한 가스 공급을 보장하여 제품 결함으로 이어질 수 있는 입자 오염을 방지합니다.
2. 제약 및 생명공학 산업:
*약물 제조 시 가스 살균이나 가스 혼합과 같은 중요한 공정을 위한 고순도 가스 공급 시스템에 사용하기에 이상적입니다.
*제품 품질에 영향을 줄 수 있는 오염 물질을 걸러내어 생산에 사용되는 가스의 무결성을 보장합니다.
3. 항공우주 및 하이테크 제조:
*항공우주 분야의 첨단 소재, 코팅 및 구성 요소 제조에 사용되는 정밀 가스 흐름 제어 시스템에 적용됩니다.
*극한의 온도와 압력을 견뎌내며, 까다로운 환경에서도 오래 지속되는 입자 여과 기능을 제공합니다.

4.화학 처리:
*고온, 고압, 부식성 환경이 존재하는 화학 공장의 가스 공급 라인에 효과적입니다.
*화학 반응을 방해하거나 장비 고장으로 이어질 수 있는 입자 오염을 방지합니다.
5. 실험실 및 연구 시설:
*가스 크로마토그래프, 질량 분석기 또는 기타 민감한 분석 장치와 같은 과학 장비를 위한 고정밀 가스 공급 시스템에 사용됩니다.
*섬세한 도구를 입자 오염으로부터 보호하여 정확도와 수명을 향상시킵니다.
6. 고순도 가스 분배:
*전자 제조에 사용되는 것과 같이 오염 물질이 제조 공정을 방해할 수 있는 초고청정 가스가 필요한 시스템에 필수적입니다.
*316L 스테인리스 스틸 구조는 내구성과 내화학성을 보장하여 혹독한 작동 환경에도 적합합니다.
7. 극저온 가스 시스템:
* 의료용 가스 공급이나 액화 가스 취급과 같은 산업에서 극저온 공정의 성능에 영향을 줄 수 있는 입자를 걸러내는 것이 중요한 극저온 가스 공급 시스템에 적합합니다.
8. 석유 및 가스 산업:
*정유소나 석유화학 공장의 가스 여과 시스템에 사용되어 가스 흐름에서 오염 물질을 제거하고 장비의 오염이나 마모를 방지합니다.
응용 프로그램의 주요 이점:
* 고온 및 고압 저항성필터가 극한 상황에서도 안정적으로 작동할 수 있도록 합니다.
*내식성316L 스테인리스 스틸은 화학적으로 공격적인 환경에서도 긴 서비스 수명을 보장합니다.
*편리한 설치추가적인 절단이나 용접이 필요 없으므로 기존 시스템에 쉽게 추가 장착할 수 있습니다.

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